可編程精密勻膠機

型號：HC160PE

    HC160PE程控精密勻膠機，采用高級PLC 全自動程序控制，轉速精度高，穩定性好。可用于微電子、半導體、新能源、生物材料、納米材料等領域高精度薄膜涂層的制備。

特點：

l  設計緊湊，可放置在手套箱內；

l  4.3英寸彩色觸屏控制，人機界面；

l  不銹鋼外殼，美觀耐腐蝕；

l  經CNC一體加工成型的HDPE內腔，耐腐蝕，易清潔，帶排廢功能；

l  內腔壁采用*的凹面設計，有效防濺；

l  高級PLC全自動程序控制，可編程；

l  帶真空度安全互鎖檢測功能；

l  帶蓋子安全互鎖檢測功能；

l  帶排廢接口；

l  配置一個自動點膠接口，可升級自動點膠系統；

l  可設置用戶密碼保護功能；

l  配置可調基座，方便調節水平；

技術參數：

l  適用晶元尺寸范圍：?10~160mm；

l  旋涂速度：100~12000rpm；

l  轉速分辨率：1rpm；

l  旋涂加速度：100-30000rpm/s；

l  旋涂時間：3000s；

l  旋涂時間精度：0.1s；

l  內腔直徑220mm，內腔壁采用*的凹面防濺設計；

l  具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序10步；

l  電源輸入：AC200-230V；

設備外形尺寸：長X寬X高：310X254X250mm

HC160PE程控精密勻膠機

HC160PE程控精密勻膠機