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HC160SE
精密可編程勻膠機
精密可編程勻膠機
產品特色
? 設計緊湊,可放置在手套箱內;
? 4.3英寸彩色觸屏控制,人機界面;
? 經CNC一體加工成型的HDPE內腔,耐腐蝕,易清潔,帶排廢功能;
? 內腔壁采用凹面設計,有效防濺;
? 高級PLC全自動程序控制,可編程;
? 帶真空度安全互鎖檢測功能;帶蓋子安全互鎖檢測功能;
? 具有電機進膠保護功能;管路易疏通設計;具有真空不足提示及保護功能,具有斷電后參數自動保存功能。帶排廢接口;
? 可設置用戶密碼保護功能;配置可調基座,方便調節水平;
性能參數
? 適用晶元尺寸范圍:?5~160mm;
? 旋涂速度:100~12000rpm;
? 轉速分辨率:1rpm;
? 旋涂加速度:100-30000rpm/s;
? 最大旋涂時間:3000s;
? 旋涂時間精度:0.1s;
? 內腔直徑220mm,內腔壁采用凹面防濺設計;
? 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程10組程序,每組程序10步;
? 電源輸入:AC200-230V;
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